石墨烯光調(diào)制器的研究.pdf

1、近年來，石墨烯在光電器件中的應用受到了廣泛的關注，它表現(xiàn)出諸多優(yōu)異的光電特性，使其在下一代微納光電子領域有著巨大的潛力。自2011年起，一系列基于石墨烯的光調(diào)制器先后被成功研制出來，這已顯示出其優(yōu)異的性能和良好的應用前景。然而，這類器件面臨著石墨烯-光的相互作用較弱，調(diào)制速率較慢，工藝步驟較為復雜，成品率較低等問題。為解決這幾個問題，本文采用微環(huán)諧振腔作為基底，以石墨烯作為有源材料，來制備高性能的石墨烯光調(diào)制器。
　　本研究主要內(nèi)

2、容包括：⑴為加強石墨烯與光場的相互作用強度，提升器件的調(diào)制深度，從而減小器件的尺寸，本研究采用微環(huán)諧振腔與石墨烯的復合結(jié)構。此結(jié)構因為其獨特的諧振特性，往往有著超高的消光比以及極小的器件尺寸。我們成功制備了基于微環(huán)結(jié)構的石墨烯電光調(diào)制器，它的調(diào)制深度和調(diào)制速率分別可達2 dB以及125 MHz，器件面積僅為13μm2，為日后光電子集成回路的應用提供了一種可行的思路。⑵石墨烯不但擁有優(yōu)異的光電性質(zhì)，其在熱力學方面的性能也很卓越，尤其是它的