MESO-SCALE級金屬結構微細電解加工技術試驗研究.pdf

1、電解加工是利用金屬在電解液中發(fā)生陽極溶解的原理，將零件加工成形的，其材料的減少過程以離子的形式進行。由于電解加工具有無工具損耗、加工材料范圍廣、加工后零件表面無變形和再鑄層等優(yōu)點，成為航空航天，兵器制造等國防工業(yè)生產中的關鍵技術之一。特別是電解加工以離子的形式對材料進行去除的特點，使得其在微細加工中具有一定的發(fā)展?jié)摿ΑＱ芯亢驼莆瘴⒓氹娊饧庸さ年P鍵技術，研制開發(fā)微細電解加工系統(tǒng)，深入研究微細電解加工工藝，并結合制造業(yè)中大量存在的Meso-

2、scale(尺寸為幾微米至幾百微米)的微細結構，將微細電解加工用于實際工業(yè)應用研究，具有重要的現(xiàn)實意義。
　　結合研究人員多年來在電解加工技術領域的研究工作及國內外微細電解加工技術的最新研究進展，本文重點在以下幾個方面進行了深入研究：
　　1、本文在深入分析微細電解加工技術原理和技術特點的基礎上，獨立研制了一套完整的數字化微細電解加工系統(tǒng)，包括機床機械本體、運動控制系統(tǒng)、過程檢測模塊和加工電源等部分，該系統(tǒng)能夠滿足微細電解加

3、工的要求。
　　2、根據法拉第定律、微細電解加工的電化學極化過程、外電場作用下的陽極極化曲線及特征等理論，利用納秒級脈沖電源，通過基礎工藝試驗研究了電解液成分、電源性質、加工電壓、脈沖寬度、脈沖頻率、超聲頻率等工藝因素對Meso-scale級微細孔加工的溶解定域性、微細孔加工質量、間隙分布、成型質量等關鍵指標的影響規(guī)律。
　　3、在電極/溶液界面雙層理論、微細電解加工的等效電路等理論分析的基礎上，通過基礎工藝試驗研究了加工電