基于彎曲板波的拉曼型聲光移頻器的理論分析與設計.pdf

1、基于彎曲板波的拉曼型聲光移頻器的理論分析與設計⑧重慶大學碩士學位論文(學術學位)學生姓名：胡晶指導教師：溫志渝教授專業(yè)：儀器科學與技術學科門類：工學重慶大學光電工程學院二0一二年五月重慶人學碩t學位論文中文摘要摘要論文針對一種基于聲光效應的微型加速度傳感器的總體設計要求，開展可敏感加速度的基于彎曲板波的拉曼型聲光移頻器新結構的模擬、設計以及加工工藝研究，具有重要的科學意義和迫切的應用需求。論文利用聲光互作用效應，基于MEMS技術，提出了

2、一種基于彎曲板波的拉曼型聲光移頻器的橋型新結構，詳細論述了該移頻器的工作原理；搭建實驗宏模型，驗證了其檢測原理；確定了移頻器的主要結構參數(shù)；針對所提出的移頻器新結構建立并分析了多層板理論模型和有限元模型；完成了移頻器的加工工藝流程和光刻掩模版圖的設計，進行了移頻器原理樣機的試驗流片，并測試了樣機的性能。主要研究工作如下：①在分析與總結聲表面波聲光移頻器國內外研究現(xiàn)狀的基礎上，基于MEMS技術，提出了一種可敏感外界加速度的基于彎曲板波的拉

3、曼型聲光移頻器新結構，論述了該聲光移頻器的工作原理，搭建了實驗宏模型，驗證了其檢測原理：②針對所提出的移頻器新結構，通過MATLAB求解瑞利一蘭姆方程，研究了A。模式彎曲板波在ZnO薄膜中的頻散特性，建立并分析了移頻器的多層板理論模型，獲得了各層材料厚度與諧振頻率的關系曲線，為后續(xù)的結構參數(shù)設計奠定了理論基礎；③完成了移頻器主要部件，即叉指換能器和單模矩形Si基Si02光波導的設計，確定了移頻器的主要結構參數(shù)，利用ANSYS軟件，建立了