基于氣磁復(fù)合支承的主動隔振系統(tǒng)的設(shè)計(jì).pdf

1、隔微振作為一門綜合學(xué)科的基礎(chǔ)支持技術(shù)，在高精尖技術(shù)領(lǐng)域成為了不可或缺的關(guān)鍵技術(shù)。隨著時(shí)代的發(fā)展，目前人類尖端科技領(lǐng)域已經(jīng)發(fā)展到了令前人嘆為觀止的高度，如大規(guī)模集成電路制造、激光干涉引力波探測、超精密加工制造、激光三維直寫技術(shù)等領(lǐng)域，均已經(jīng)達(dá)到納米、亞納米甚至更高的精度。然而地面上的任何設(shè)備都脫離不開大地振動的干擾，所以說上述領(lǐng)域任何技術(shù)的實(shí)現(xiàn)與發(fā)展都離不開隔微振技術(shù)的支持，隔微振技術(shù)已經(jīng)成為了上述領(lǐng)域進(jìn)一步發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)。
　　本

2、文設(shè)計(jì)了基于氣磁復(fù)合支承技術(shù)的隔微振裝置。隔振器采用三級氣浮結(jié)構(gòu)作為主支承，從理論上來講能夠使得隔振器與地面完全分隔，實(shí)現(xiàn)六自由度隔振，具有大承載、低剛度的優(yōu)勢。引入音圈電機(jī)作為制動器，設(shè)計(jì)了基于音圈電機(jī)的主動控制方案，在氣浮支承的基礎(chǔ)之上，進(jìn)一步提高隔振系統(tǒng)的定位精度和隔振性能。
　　本文首先對隔振器機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)進(jìn)行分析。本文所設(shè)計(jì)的隔振器采用氣浮結(jié)構(gòu)作支承，根據(jù)結(jié)構(gòu)的尺寸形狀、工作狀態(tài)對氣浮結(jié)構(gòu)垂向和水平向的剛度特性進(jìn)行理論推

3、導(dǎo)，并進(jìn)行了相應(yīng)的仿真分析。介紹了音圈電機(jī)的工作原理，并分析主動控制系統(tǒng)的布局。
　　其次，設(shè)計(jì)了垂向和水平向剛度可調(diào)輔助機(jī)構(gòu)并分析。垂向設(shè)計(jì)中引入了磁浮彈簧的設(shè)計(jì)，對磁浮彈簧的特性進(jìn)行了理論分析和磁場仿真，與主氣室結(jié)構(gòu)并聯(lián)以降低系統(tǒng)剛度；水平向引入了輔助定位器以避免側(cè)傾力對系統(tǒng)的影響，同樣實(shí)現(xiàn)了剛度可調(diào)功能，可靈活調(diào)整。
　　然后，建立了主動控制系統(tǒng)，包括定位控制與振動控制。設(shè)計(jì)主動定位控制的目的在于使系統(tǒng)工作穩(wěn)定可靠的同