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1、由于微結(jié)構(gòu)表面的幾何尺度和入射波長(zhǎng)相接近,會(huì)產(chǎn)生微尺度效應(yīng),因此需求解Maxwell方程組來(lái)獲得其輻射偏振特性,過(guò)去微結(jié)構(gòu)的研究重點(diǎn)在于化學(xué)制備的方法以及能量傳播等方面。本文主要研究了多孔結(jié)構(gòu)與粗糙表面的輻射偏振特性。重點(diǎn)研究了金屬納米球孔陣列結(jié)構(gòu)的輻射偏振特性及光譜橢偏法測(cè)量中基于有效介質(zhì)理論的等效粗糙度層模型對(duì)粗糙表面修正效果的評(píng)估。
文中用基于Maxwell方程組的時(shí)域有限差分法研究了金屬納米球孔陣列結(jié)構(gòu)的光譜輻射特性。
2、計(jì)算結(jié)果發(fā)現(xiàn),正入射的情況下,金屬鎳納米球孔陣列結(jié)構(gòu)的空腔直徑為0.2~0.8μm時(shí),在入射波長(zhǎng)為0.2~2.0μm的范圍內(nèi)會(huì)出現(xiàn)兩個(gè)吸收峰,并且,吸收峰的位置,強(qiáng)度及波段寬度與空腔直徑、金屬填充高度、入射角、偏振角這些因素有關(guān)。此外,文中還分析了溫度對(duì)金屬鎢納米球孔陣列結(jié)構(gòu)的輻射特性的影響。金屬鎳納米球孔陣列結(jié)構(gòu)能量吸收的分布主要集中在結(jié)構(gòu)的上表面,尤其是孔口附近。在實(shí)際應(yīng)用中,針對(duì)目標(biāo)波段,可以通過(guò)調(diào)節(jié)空腔直徑、填充高度、入射角及偏
3、振角等因素,調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的輻射特性,優(yōu)化目標(biāo)波段內(nèi)的光譜吸收率,這在熱光伏系統(tǒng)、能量吸收等領(lǐng)域有重要的應(yīng)用前景。此外,文中分析了金屬鎳納米球孔陣列結(jié)構(gòu)的橢偏特性隨空腔直徑的變化規(guī)律。
在光譜橢偏法測(cè)量中,通常用等效粗糙度層模型對(duì)光學(xué)常數(shù)進(jìn)行修正,以消除表面粗糙度對(duì)結(jié)果的影響。本文用基于Maxwell方程組的時(shí)域有限差分法與基于有效介質(zhì)理論的等效粗糙度層模型兩種方法,分別計(jì)算隨機(jī)粗糙表面的橢偏參數(shù),以時(shí)域有限差分法的結(jié)果作為基準(zhǔn),比
4、較兩種方法計(jì)算結(jié)果的偏差值,分析光譜橢偏法中等效粗糙度層模型的修正效果。結(jié)果表明,在其他條件不變的情況下,均方根粗糙度越大,等效粗糙度層模型準(zhǔn)確性越低,修正效果越差,且入射波長(zhǎng)越小,這種影響越明顯。入射角越接近布儒斯特角,等效粗糙度層模型的準(zhǔn)確性越低,修正效果越差,且介質(zhì)的k值越小,這種影響越明顯。文中發(fā)現(xiàn),自相關(guān)長(zhǎng)度τ=0.5?m時(shí),等效粗糙度層模型的準(zhǔn)確性最高。在光譜橢偏法測(cè)量中用等效粗糙度層模型對(duì)光學(xué)常數(shù)進(jìn)行修正時(shí),本文的計(jì)算結(jié)果
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