半導體硅片企業(yè)MES系統(tǒng)研究與應用.pdf

1、隨著國內經濟的不斷發(fā)展以及世界經濟的一體化進程的不斷加速，半導體硅片企業(yè)面臨的競爭愈發(fā)激烈，半導體硅片企業(yè)只有不斷的提高自身的制造能力和適應水平，并對客戶不斷變化的需求進行滿足，才能夠在激烈的競爭中立于不敗之地。因此，半導體硅片企業(yè)需要進行MES系統(tǒng)（Manufacture Execute System制造執(zhí)行系統(tǒng)）的完整解決方案的建立，以便能夠使得企業(yè)獲得必要的發(fā)展條件，并對信息溝通和適應能力進行提高?？梢哉f，MES系統(tǒng)已經受到越來越

2、多制造企業(yè)的關注，半導體硅片企業(yè)需要亟待建立一套符合企業(yè)特點的MES系統(tǒng)。
　　本文進行MES系統(tǒng)的研究與應用是基于半導體硅片企業(yè)的生產實際進行的，以滿足半導體硅片企業(yè)的MES管理為最終目標。本文通過分析半導體硅片企業(yè)對于MES系統(tǒng)要求的特殊性和必要性基礎上，確立了研究的具體方向和范疇。系統(tǒng)的設計與實現(xiàn)融合了當前先進的面向對象設計、J2EE技術以及統(tǒng)一建模語言技術等。本文的主要研究重點和工作主要包括如下內容：
　　（1）對半

3、導體硅片企業(yè)生產流程和特點進行分析，確定當前MES系統(tǒng)存在的缺陷和不足；
　?。?）借助于統(tǒng)一建模語言技術，對半導體企業(yè)MES系統(tǒng)的業(yè)務模型進行分析和建立，確定系統(tǒng)的業(yè)務環(huán)境；
　　（3）對半導體MES系統(tǒng)進行功能結構、體系結構以及網絡結構的設計，并采用逐層深入的方式對MES系統(tǒng)的主要功能模塊進行詳細設計，建立對應的數(shù)據(jù)模型；
　?。?）在MES系統(tǒng)的生產控制環(huán)節(jié)引入JBPM工作流技術，實現(xiàn)生產控制、質量控制以及工藝控

4、制的智能化和自動化管理，規(guī)范生產流程和生產質量；
　?。?）借助于J2EE技術對MES系統(tǒng)的實現(xiàn)過程進行分析，并通過測試用例的形式分析實現(xiàn)效果。
　　通過對半導體企業(yè)進行實施MES系統(tǒng)，可以完善企業(yè)對于設備、質量、生產流程的監(jiān)控，并逐步形成整套的追溯工具和平臺，便于企業(yè)進行各種信息的追溯，包括處理方法、處理結果、生產車間、操作人員、工序以及產生時間等。實施具有半導體企業(yè)特點的MES系統(tǒng)，不但能夠對于企業(yè)人員進行促進和鞭策，而