碳納米管負(fù)載SnO2納米顆粒乙醇?xì)饷籼匦匝芯?pdf_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

1、隨著氣體檢測(cè)的廣泛應(yīng)用，氣敏材料的研究引起人們?cè)絹?lái)越多的關(guān)注。開(kāi)發(fā)和研究新型氣敏材料，已成為提高氣敏傳感器的靈敏度、選擇性、功耗等特性的重要方法之一。
　　本文所研究的氣敏材料是對(duì)乙醇?xì)怏w敏感的多壁碳納米管負(fù)載二氧化錫納米粒子摻雜NiO的薄膜材料。首先采用溶膠凝膠技術(shù)將溶有多壁碳納米管的Sn(OH)4水溶膠旋涂于基片上，燒結(jié)后形成二氧化錫包覆碳納米管的薄膜，再通過(guò)等離子體轟擊的方法將碳納米管裸露出來(lái)，使其參與導(dǎo)電，進(jìn)行電荷傳輸，減

2、小體電阻，在此膜上制作金叉指電極，再在電極之上通過(guò)磁控濺射技術(shù)制備摻雜NiO的二氧化錫薄膜，通過(guò)摻雜，使其對(duì)乙醇具有良好的選擇性。
　　通過(guò)對(duì)Ni-SnO2/MWNTs薄膜材料的氣敏特性分析，我們得出Ni-SnO2/MWNTs薄膜的最佳工作溫度為300℃左右。在此溫度下，對(duì)乙醇?xì)怏w濃度為500ppm時(shí)測(cè)試，該薄膜的靈敏度有顯著的提高，靈敏度高達(dá)72。由于摻雜了NiO，其對(duì)乙醇?xì)怏w有良好的選擇性，對(duì)其他一些還原性氣體的靈敏度都不高。

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