探針臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制及晶圓定位對(duì)準(zhǔn)技術(shù)研究.pdf

1、探針臺(tái)是一種晶圓探針測(cè)試設(shè)備，探針測(cè)試在半導(dǎo)體器件制造流程具有重要的地位，通過探針測(cè)試，可及時(shí)發(fā)現(xiàn)晶圓中性能異常的晶粒，減少后續(xù)工序的加工耗費(fèi)。目前晶圓直徑不斷增大，而晶粒卻越來越小，對(duì)晶圓測(cè)試設(shè)備的自動(dòng)化程度提出了較高的要求，傳統(tǒng)的手動(dòng)或半自動(dòng)測(cè)試需要較多的人工參與，因而發(fā)展全自動(dòng)探針臺(tái)是提高晶圓探針測(cè)試效率的重要手段。國內(nèi)的探針臺(tái)因?yàn)槠鸩捷^晚，在自動(dòng)化方面與國外存在較大差距。運(yùn)動(dòng)控制和晶圓自動(dòng)定位對(duì)準(zhǔn)技術(shù)是提高探針測(cè)試自動(dòng)化程度及測(cè)

2、試效率的關(guān)鍵技術(shù)，本課題針對(duì)探針測(cè)試的特點(diǎn)，對(duì)用于探針臺(tái)的運(yùn)動(dòng)控制卡和基于機(jī)器視覺的晶圓自動(dòng)定位對(duì)準(zhǔn)技術(shù)做了研究。
　　大部分探針臺(tái)系統(tǒng)采用PC加運(yùn)動(dòng)控制卡的控制方案，本文根據(jù)探針臺(tái)的運(yùn)動(dòng)特點(diǎn)，提出了運(yùn)動(dòng)控制卡必須具有的功能，選用FPGA器件以及NIOS軟核處理器，設(shè)計(jì)插補(bǔ)、加減速控制、I/O濾波等運(yùn)動(dòng)控制算法；用Windriver和C++開發(fā)了上位機(jī)驅(qū)動(dòng)程序和運(yùn)動(dòng)控制調(diào)用函數(shù)，設(shè)計(jì)了一款基于PCI總線的4軸運(yùn)動(dòng)控制卡，具有4軸線