FC3000芯片清洗機的傳送系統(tǒng)開發(fā).pdf_第1頁
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文檔簡介

1、自九十年代至今,中國的半導體制造業(yè)從單純的技術引進,發(fā)展到自主研發(fā)、獨立設計的階段,并朝著有序的方向發(fā)展。由于半導體設備大多由國外廠家壟斷,并且引進到我國的機臺已有很多使用期限超過了十年,這些機臺正面臨著零部件老化,甚至停產(chǎn),并且很多機臺不適用于當前先進技術產(chǎn)品要求的窘境,有序的再制造技術是對舊有設備重新發(fā)揮作用的一個重要組成部分。本文以FC3000型芯片清洗機的芯片傳送系統(tǒng)再次開發(fā)為背景,對FC3000傳送系統(tǒng)進行深入的改造。在論文之

2、中,首要確定了傳送機構改造的方案,在舊設備的基礎上,以原有的設定參數(shù)作為參考,進行硬件匹配度評估,為伺服系統(tǒng)和運動部件的選型提供了理論依據(jù)。然后,從分析傳送系統(tǒng)的軟硬件和運動順序的特點入手,比較詳細地闡述如何針對舊型 FC3000設備的再利用配置和使用要求進行二次開發(fā)和電氣設計、設備控制系統(tǒng)聯(lián)調(diào)等技術。設計了FC3000傳送系統(tǒng)的硬件改造、電氣控制線路,輸入輸出地址設定,包括機臺調(diào)試、系統(tǒng)初始化參數(shù)等。形成了機臺傳送系統(tǒng)再制造開發(fā)的樣本

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