MOCVD溫度監(jiān)測與均勻性研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、MOCVD設備的研制作為LED產(chǎn)業(yè)的核心技術之一，在LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展中扮演重要角色。隨著我國對LED產(chǎn)業(yè)的重視，獨立自主研發(fā)MOCVD設備變得十分必要。本文以實際MOCVD設備研發(fā)為背景，對其中的若干技術問題展開研究。
　　MOCVD設備研制技術十分復雜，包括機械、工藝、軟件和控制等方面。本文的研究涉及軟件和控制兩個方面，包括三個要點:第一，提出了MOCVD控制的軟件系統(tǒng)架構。從軟件需求分析入手，結合當前主流軟件系統(tǒng)的各自優(yōu)勢，并根

2、據(jù)分層和模塊化的設計思想，討論了軟件系統(tǒng)的層次劃分和層內(nèi)各模塊功能，使用基于CORBA/RPC的通信中間件完成層間實時通信。第二，定義實現(xiàn)了MOCVD溫度控制系統(tǒng)接口。將溫度控制中參數(shù)整定工作放到上位機進行，并設計與控制器通訊的接口，提供多種通信協(xié)議。設計和實現(xiàn)了溫度控制算法的統(tǒng)一接口，為智能算法在溫度控制的應用提供可能。同時設計實現(xiàn)了測試接口DLL的應用程序。第三，提出了基于在線建模和仿生優(yōu)化算法的溫度均勻性控制策略。利用神經(jīng)網(wǎng)絡在線

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