大面積石墨烯CVD生長設備控制系統(tǒng)的研發(fā).pdf_第1頁
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文檔簡介

1、正是由于石墨烯所具有的獨特結構和優(yōu)異性能，因此石墨烯在物理、化學和材料等領域有著非常廣闊的應用前景。用CVD（化學氣相沉積）法可以制備高質量、大面積的石墨烯，該方法目前得到廣泛應用。
　　石墨烯CVD壓力控制系統(tǒng)具有“非線性”、“參數(shù)時變性”、“滯后”等特點，而氣體壓力直接決定了石墨烯的生長質量，為了獲得高質量的石墨烯，有效地控制好氣體壓力，對壓力控制算法的研究顯得尤為重要。
　　本論文首先分析了石墨烯CVD控制系統(tǒng)的結構及

2、原理，確定了系統(tǒng)的硬件組成，并利用WinCCV6.0組態(tài)軟件以及Step7編程軟件分別設計了系統(tǒng)的上位機監(jiān)控界面和PLC系統(tǒng)控制程序，完成了系統(tǒng)的軟硬件設計。然后采用系統(tǒng)辨識方法建立了石墨烯CVD氣體壓力控制系統(tǒng)的數(shù)學模型。針對該數(shù)學模型，研究了常規(guī)PID控制算法、模糊PID控制算法和專家PID控制算法，并將常規(guī)PID控制算法通過WinCC的腳本程序應用到實際壓力控制系統(tǒng)，實現(xiàn)了對石墨烯真空反應室內(nèi)壓力的精確控制；本論文進一步研究討論了

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