基于超快激光的超光滑光學(xué)表面制造技術(shù)研究.pdf_第1頁
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1、密級五分類號y2618⑧萬鄉(xiāng)歹季乒亨XI’ANTECHNOLOGICALUNIVERSITY碩士學(xué)位論文題目：基于超快激光的超光滑光學(xué)表面制造技術(shù)研究指導(dǎo)教師：作者：李曉崗韓軍教授申請學(xué)位學(xué)科：精密儀器及機械2015年5月25日ResearchonUltrafastLaserPolishingMonocrystalline—SiliconDiscipline：precisioninstrumentandmachineryStudentS

2、ignature：厶j水伽蜘SupervisorSignature：AbstractWiththedevelopmentofrelateddisciplines，achievingultrasmoothpolishofopticalsurfacehasbecomeanimportantresearchintheprecisionmachiningLaserpolishingtechnologyasasurfacehandletechno

3、logywithgoodpolishingeffectandlessthermaleffect，hasanunparalleledadvantageinhigh—precisionpolishingrelativetoconventionalpolishingtechniquesTherewerediscussedinthisarticlethatthemechanismofultrafastlaserforopticalmateria

4、ls，polishingsystemstructures，experimentaldesign，implememandtestdataanalysisBuildadynamicmodelofultrafastlaserpolishingquartz，exploretheultrafastlaserpolishingprocess。Intheexperiment，thelasersourceusesfsandpslaser，utilize

5、sdigitalmicroscopeandsurfaceprofiletodetectthesurfacemorphologyandroughnessAndtheeffectsthatlaserenergydensity，overlapspotrateanddefocusingamounttoultrafastlaserpolishingWasAnalysedItcanAnalysisthefactorsshareoftheweight

6、inthepolishing，affectchangesinthelevelofeachfactortothepolishingeffectintuitiverespectivelybyorthogonalexperimentaldesignandunivariateanalysisThemethodcombinestwoexperimentalparametersCanoptimizeaffectparametersmorescien

7、tificandreasonable，UseunivariateandorthogonalexperimentmethodpolishedquartzdirectlyandmaterialsamplescoatedwithasacrificiallayerFinallyithascomparedthetwopolishedresults。ThefollowingconclusionsCanbereachedinthisarticle：1

8、)DerivedThekineticmodelequationofultrafastlasereffectingopticalmaterial，astheenergydensityischanged，theetchingdepthofthematerialischangednonlinearly2)Usingtheorthogonalexperimentmethod，itiseducethatlaserenergydensityshar

9、esmaxweightinwholepolishingprocesscomparedBecausetherangeoflaserenergydensityisbiggerthansurplustwofactor3)ItisCanobtainthatlaserenergydensityisthebiggestaffecttothepolishingeffectduringthelaserenergydensity，overlapspotr

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