超精密齒輪齒距偏差測(cè)量中誤差分離技術(shù)研究.pdf

1、齒輪是機(jī)械傳動(dòng)的關(guān)鍵部件，而齒輪制造質(zhì)量取決于齒輪的檢測(cè)水平。齒距偏差是齒輪高精度檢測(cè)中的必檢項(xiàng)目之一。高精度齒輪測(cè)量中儀器誤差在測(cè)量結(jié)果中占重要部分，因此有必要加以控制。目前應(yīng)用廣泛的精密齒輪測(cè)量設(shè)備（如齒輪測(cè)量中心）都引入了測(cè)試結(jié)果的修正程序。國(guó)內(nèi)部分大學(xué)提出對(duì)齒輪安裝偏心產(chǎn)生誤差的補(bǔ)償方法，國(guó)外德國(guó)聯(lián)邦物理技術(shù)研究院(以下簡(jiǎn)稱PTB)與日本計(jì)量院(以下簡(jiǎn)稱NMIJ)分別提出基于閉環(huán)測(cè)量原理的誤差分離技術(shù)。
　　本研究主要內(nèi)容

2、包括：⑴分析了國(guó)內(nèi)外齒距偏差測(cè)量?jī)x的特點(diǎn)，按照絕對(duì)測(cè)量原理搭建了超精密齒距偏差測(cè)量?jī)x。按照國(guó)家檢定規(guī)程對(duì)程控多齒分度臺(tái)的分度誤差進(jìn)行評(píng)定，結(jié)果顯示分度誤差小于0.5″;設(shè)計(jì)測(cè)頭重復(fù)定位裝置，以保證測(cè)頭重復(fù)性誤差小于0.2μm;設(shè)計(jì)可調(diào)整芯軸結(jié)構(gòu)，使芯軸徑向跳動(dòng)能調(diào)整到0.5μm范圍內(nèi)。⑵分析PTB與NMIJ的閉環(huán)測(cè)量技術(shù)，參照閉環(huán)法提出測(cè)量過(guò)程相對(duì)簡(jiǎn)單的齒距偏差測(cè)量方法—兩步法和多步法。該方法能消除測(cè)量結(jié)果中的系統(tǒng)誤差。⑶分別按照閉環(huán)測(cè)

3、量技術(shù)、兩步法、多步法對(duì)對(duì)No.6002(m=6mm，z=20)，No.3001(m=3 mm，z=40)，No.4003(m=4 mm，z=30)齒輪測(cè)量比較，No.6002與No.3001齒輪采用不同方法的單個(gè)齒距偏差測(cè)量結(jié)果差異小于0.2μm。為了進(jìn)一步驗(yàn)證兩步法和多步法合理性，對(duì)比No.4003的PTB檢測(cè)結(jié)果與實(shí)驗(yàn)室的測(cè)量結(jié)果，結(jié)果顯示單個(gè)齒距偏差測(cè)量值差異小于0.17μm。⑷在多步法測(cè)量中，用最小二乘法計(jì)算單個(gè)齒距偏差，介紹