基于CMOS-MEMS技術(shù)的帶電路輸出的PZT電能收集器.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、由于微電子技術(shù)飛速發(fā)展使芯片功耗足夠小，已達到微、納瓦量級水平，組成的系統(tǒng)也在毫瓦量級；為此提出將周圍環(huán)境的振動能量轉(zhuǎn)換成電能收集并存儲起來，使其作為系統(tǒng)能源成為可能。本文基于CMOS和MEMS工藝研究帶電路輸出的PZT電能收集器，采用溶膠-凝膠工藝制備PZT薄膜，利用PZT薄膜的正壓電效應(yīng)將環(huán)境中可利用的振動能量轉(zhuǎn)化為電荷，并通過整流電路收集電荷及能量存儲電容輸出電能信號。采用XRD對制備的PZT粉體原料配比和晶格結(jié)構(gòu)進行分析，結(jié)果表

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