天線罩用氮化硅陶瓷材料燒結(jié)工藝的研究.pdf

1、以天線罩用氮化硅材料為研究對象，針對氮化硅陶瓷的低介電常數(shù)和低介電損耗的性能以及導(dǎo)熱系數(shù)等參數(shù)進行設(shè)計，提高氮化硅陶瓷材料在介電性能上的可靠性，在理論發(fā)展和實際應(yīng)用中都有十分重要的意義。 本文研究了多種燒結(jié)助劑對氮化硅燒結(jié)性能和燒結(jié)過程的影響。研究表明，多組分助劑比單一組分助劑對氮化硅的助燒效果好，MgO-Al2O3-SiO2體系比較受重視。 同時采用了在系統(tǒng)中引入納米粉體來降低燒結(jié)溫度的機制。而含有納米粉體參與的燒結(jié)和

2、傳統(tǒng)的固相燒結(jié)有很大的區(qū)別。納米粉體的引入同樣帶來了顆粒的級配問題。 分析了溫度、氣氛種類等各個因素對氮化硅材料燒結(jié)過程的影響。為促進氮化硅的燒結(jié)，提高燒結(jié)性能，而不影響介電性能和熱性能，以堇青石和β-鋰輝石為燒結(jié)助劑加入到體系中，在高溫的時候形成液相，通過液相燒結(jié)的方式將氮化硅燒結(jié)。研究了燒結(jié)氣氛、溫度、燒結(jié)助劑的改變對燒結(jié)性能的影響。建立了納米氮化硅粉、微米氮化硅、堇青石燒結(jié)助劑、β-鋰輝石燒結(jié)助劑、氣氛這一系統(tǒng)的燒結(jié)機制。