基于DMD動態(tài)掩膜微立體光刻系統(tǒng)的開發(fā)與研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、三維復雜結構微器件對于實現(xiàn)微機電系統(tǒng)的功能至關重要，但是加工三維復雜微結構對于傳統(tǒng)的微細加工技術是一個挑戰(zhàn)。面投影微立體光刻技術通過光引發(fā)光敏樹脂固化，逐層制造并多層疊加來完成結構復雜、高分辨率、小尺寸的三維結構的制造，被認為是目前最有前景的微細加工技術之一。
　　 本文介紹了一套自行開發(fā)的動態(tài)掩膜面投影微立體光刻系統(tǒng)，系統(tǒng)中采用數(shù)字微反射鏡(digital micro-mirror device，DMD)作為動態(tài)掩膜發(fā)生器，利

2、用LED陣列作為光源，光源的功率以及波長可以滿足光固化的要求，設計新的樹脂槽和涂覆系統(tǒng)適用粘度大的復合納米材料的加工。除了系統(tǒng)的設計與搭建以外，文中介紹了自行開發(fā)的基于AutoCAD的CAD模型的直接切片分層程序、基于LabVIEW設計的生成加工文件程序以及系統(tǒng)控制程序。
　　 文中分析得到微立體光刻系統(tǒng)加工分辨率由光學系統(tǒng)的分辨率以及光敏樹脂的特性共同決定，通過測量微立體光刻系統(tǒng)中光學系統(tǒng)的分辨率以及光敏樹脂與二二氧化硅納米顆

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