ULSI中互連的電學和熱學特性的建模及模擬.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、提出了將模擬電荷法用于計算多導體互連電容矩陣的一種新的算法,該算法與已有的用互互連電容矩陣提取的算法（如有限差分法、有限元法）相比,計算速度快、通用性高,在算法的實現(xiàn)中,采用DFP優(yōu)化算法加速了計算過程中的收斂性,基于此算法,開發(fā)了用于多導體互連電容參數(shù)提取的通用程序.推導出了任意頻率下具有矩形橫截面的三維ULSI互連線的自感以及兩極相等或不等長度的平行互連線的互感公式.利用上述公式可以計算任意垂直或平行互連線結構的互感和總電感,物理意

2、義明確,得出的計算值與數(shù)值模擬軟件FASTHENRY的模擬結果相比,偏差小于5﹪.改進了AWE法（漸近波形估值法）并用它來模擬RLC互連電路.用AWE法的模擬結果來確定一根互連導線的最壞條件延遲時間和過沖以及兩極耦合互連導線間的竄擾.這些新的模擬結果增強了對GSI多層互連網(wǎng)絡的電感效應的理解和優(yōu)化設計.提出了一個計算互連系統(tǒng)熱特性的準二維解析模型,用ANSYS模擬結果作了比較,符合很好.ANSYS數(shù)值模擬結果表明：低K介質(zhì)的引入將導致互

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