掃描電子顯微鏡數(shù)字化顯像的研究.pdf

1、掃描電鏡是一種能夠?qū)Ρ砻嫖⒂^世界進行全面分析的多功能的電子光學儀器.廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代生物學、醫(yī)學、地質(zhì)學、材料科學和半導(dǎo)體技術(shù)等各個學科領(lǐng)域.本課題的主要任務(wù)是對DX-3型掃描電鏡進行數(shù)字化改造,使其能夠與計算機系統(tǒng)聯(lián)機,方便圖像信號的分析與處理.本文首先介紹了掃描電鏡的基本原理及數(shù)字掃描電鏡技術(shù)、電子束光刻中的標記檢測技術(shù)、掃描電鏡發(fā)展歷史、國內(nèi)外掃描電鏡技術(shù)的發(fā)展及應(yīng)用概況,掃描電鏡技術(shù)的發(fā)展前景和趨勢,然后較為全面地介紹了DX-3型

2、掃描電鏡的各項技術(shù)指標、系統(tǒng)結(jié)構(gòu)等.掃拙系統(tǒng)是整個掃描電鏡系統(tǒng)動態(tài)性能的核心,因為其性能的好壞直接關(guān)系到圖形的分辨率、掃描尺寸的大小及掃描速率,并決定了最終的成像質(zhì)量.在掃描系統(tǒng)電路設(shè)計中,用我們研究所現(xiàn)有的SDS-2型圖形掃描控制器代替原有的模擬信號發(fā)生器,用精密的集成器件代替了原有的晶體管電路,提高了掃描電路的精度和穩(wěn)定度.提出了掃描電鏡數(shù)字化圖像數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的設(shè)計方案.在本部分中要求數(shù)字化圖像數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)能夠進行高速數(shù)據(jù)采集的同時

3、,還能對所采集的圖像信號進行處理,并可通過總線與微型計算機進行高速通訊.該技術(shù)要求最低層的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)必須具有高的采樣速率,同時能提供更豐富的原始數(shù)據(jù)信息.為此,我們在這里采用了一種基于DSP的高速數(shù)字圖像采集系統(tǒng),該方案電路簡單、可靠性好、并可以進行多通道擴展.提出了利用本系統(tǒng)進行電子束光刻標記檢測的方案.在電子束直寫光刻工藝中,標記檢測和自動套準是必不可少的關(guān)鍵技術(shù).而標記檢測正是建立在掃描電鏡技術(shù)之上的,通過對初定位標記和精定位標