基于薄膜體聲波技術的器件設計及應用.pdf

1、隨著無線通信技術的快速發(fā)展，人們對于能同步處理大量數(shù)據(jù)的多通帶收發(fā)器的需求與日俱增。近年來，多通帶收發(fā)器已被廣泛地應用在定位系統(tǒng)和多標準的系統(tǒng)中，這些系統(tǒng)需要同時處理不同頻段的信號以提高系統(tǒng)的整體性能。盡管單個芯片中頻率帶的個數(shù)不斷增加，而消費者對小型化、多功能的便攜式設備的需求越來越高，小型化成為芯片的發(fā)展趨勢，這就對濾波器的尺寸提出了更高的要求。如果采用傳統(tǒng)的波導技術實現(xiàn)多頻帶濾波器，濾波器尺寸會過大，無法滿足移動設備的需求。

2、>　　為了迎接這一巨大挑戰(zhàn)，人們已經關注一種新興的薄膜體聲波諧振器(FilmBulk Acoustic Resonator，簡稱FBAR)技術，因為FBAR具有品質因數(shù)高、功率處理能力強以及與標準集成電路(IC)的兼容性好等一系列的固有優(yōu)勢。
　　本論文首先對薄膜體聲波諧振器的理論基礎進行討論。然后論文分析FBAR的MBVD電學模型和梅森物理模型，重點討論基于二端口網絡的FBAR濾波器的設計研究方法。
　　論文詳細說明了微型

3、的射頻雙通帶FBAR濾波器的設計方法并展示了測試結果，測試結果與仿真結果非常接近。雙通帶濾波器由兩個共享輸入和輸出端口的FBAR濾波器實現(xiàn)，并且用一個簡單的匹配網絡有效減弱了通帶間的干擾，實現(xiàn)了性能良好的雙通帶濾波特性。實測的低頻通帶和高頻通帶的中心頻點插入損耗典型值約為2dB，帶外抑制超過30dB。
　　論文還提出了一種巧妙的寬帶低損耗FBAR濾波器的設計架構，新架構通過引入了特殊的并聯(lián)支路來調節(jié)零點位置，實現(xiàn)了具備很高工程應用