SU-8微針執(zhí)行器的研究.pdf

1、生化微系統(tǒng)是MEMS的重要方向之一,而生化樣品的微量取樣和取計量是生化分析過程的重要環(huán)節(jié),微針執(zhí)行器的研究因此受到關注.該文總結了國內外關于微針執(zhí)行器的研究,提出了一種新的設計方案.作者設計了一種用于生化樣品的微量計量和采樣的電磁驅動的微針執(zhí)行器.此微針執(zhí)行器的結構包括微針、微通道、反應室、金電極以及永磁陣列組成的隔膜執(zhí)行器.通過外加電磁場,可以實現(xiàn)雙向的驅動.整個執(zhí)行器的尺寸為6mm×8mm×60μm,其針孔截面為20μm×20μm.

2、作者利用MEMS技術,以SU-8膠為材料制作了微針結構,利用電鍍工藝制作永磁陣列,并研制出雛形器件.文中對兩種工藝的步驟和參數(shù),進行了詳細的介紹,對其中出現(xiàn)的問題,也進行了實驗和摸索,并提出了幾種解決方案.作者不僅提出了以SU-8膠為主要材料制作執(zhí)行器的結構,并且提出了通過永磁陣列實現(xiàn)電磁雙向驅動.在工藝上,該文提出了"分層堆積,多次曝光,一次顯影"的方法來制作3D結構.新的設計方案,主要優(yōu)點在于工藝簡單,成本低廉.新方案還在結構和工藝