超聲輔助的飛秒激光微加工工藝研究.pdf

1、光纖傳感具有常規(guī)檢測技術不可比擬的優(yōu)勢，代表新一代傳感器的發(fā)展趨勢。在光纖上加工微結構來制備新型光纖傳感器成為一種有效手段。飛秒激光具有峰值功率高，熱影響區(qū)小，加工精度高，成為光纖精密加工的一種可行方法。針對飛秒激光實際加工中，出現殘留物堆積，加工壁面有錐度以及尖底等現象，提出超聲輔助的飛秒激光微加工工藝。提高加工效率，改善加工質量，獲得高質量的光纖微結構，以制備新型光纖傳感探頭。本文的主要研究內容與成果如下：
　?。?）為研究超

2、聲輔助的飛秒激光微加工，搭建了超聲振動平臺。要求以較小尺寸的超聲振動裝置獲得較大的微幅振動，選擇夾心式壓電陶瓷結構。通過建立模型理論分析節(jié)面處于不同位置時換能器的性能。根據實驗要求，本設計宜采用節(jié)面位置處于換能器中段的方法。建立變截面振動波動方程的數學模型，理論計算指數形與圓錐形變幅桿的技術參數，對比分析選用圓錐形變幅桿結構設計。最后，所得超聲振動裝置振動輸出頻率為30KHz，輸出振幅為6um，換能器與變幅桿總長度為154.41mm。<

3、br>　?。?）針對超聲輔助對飛秒激光加工效率的影響，測試了超聲輔助下的飛秒激光加工深度與寬度。研究發(fā)現，超聲輔助的飛秒激光微加工能略微提高加工孔徑的大小，但變化不大。為準確測量激光打孔的深度，研究在不同的側邊偏移條件下測得加工深度，試驗表明側邊偏移 R打孔端面測量的方法更能反映實際加工的深度值。超聲輔助的飛秒激光可提高燒蝕的深度，其中較低振幅的超聲振動對提高燒蝕深度不明顯，較高振幅的超聲振動可明顯提高燒蝕深度。
　?。?）針對超