硅微型泵的研制.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該文首先介紹了微機械加工的微型泵的研制過程,探討了微型泵的多種結構,分析了閥門式和無閥式微型泵的結構和工作原理,對擴散管/噴嘴結構流體輸運理論進行了必要的分析和理論推導,闡明了這種無閥式結構的可行性.其次在比較了微型泵的熱氣動、壓電陶瓷驅(qū)動等幾種不同執(zhí)行器的設計方案的基礎上提出并設計電磁驅(qū)動方案,它是通過交變電壓的作用,使線圈和附看在上面的振膜在固定磁場中作往復振動,在擴散管/噴嘴結構的作用下,可以將振膜帶來的能量轉(zhuǎn)變?yōu)榍惑w內(nèi)液體定向流

2、動的推動力,從而使液體在振膜的推動下從人口流向出口.然后設計制作了可調(diào)電壓/頻率的數(shù)顯驅(qū)動電路作為此微型泵交變電壓源,它主要采用ICL8038產(chǎn)生正弦波和方波,由TDA2822M進行功率放大,通過精密整流和LM331的電壓頻率變換,將輸出的電壓和頻率通過單片機在LED上進行顯示.接著對微型壓力腔室的總體結構進行了版圖設計.通過對KOH腐蝕系統(tǒng)和鍵合技術的一些理論研究,對微型壓力腔室和振膜的制備進行單項實驗,主要采用KOH系統(tǒng)各向異性腐蝕

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