基于ACS的探針臺驅(qū)動程序的設(shè)計與實現(xiàn).pdf

1、隨著半導(dǎo)體器件及集成電路工藝制造技術(shù)的飛速發(fā)展，國內(nèi)半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展和市場需求也越來越高。探針測試臺是半導(dǎo)體工藝線上的中間測試設(shè)備，與測試儀器連接后，能自動完成對集成電路及各種晶體管芯的電參數(shù)測試及功能測試。prober driver(探針臺驅(qū)動程序)的設(shè)計與實現(xiàn)，使得用戶可以通過軟件界面控制測試設(shè)備，控制探針的的升降和移動，通過界面進行操作，既提高了控制精度，又使得控制更為方便。
　　針對以上實際問題的背景，根據(jù)分析相關(guān)項目的客

2、戶需求，本論文將選取ACS項目中prober driver(探針臺測試驅(qū)動程序)模塊進行研究和擴展，設(shè)計開發(fā)一種針對不同半導(dǎo)體芯片測試的的探針臺設(shè)備的驅(qū)動程序。不同型號的探針臺設(shè)備單獨與該驅(qū)動程序進行通信，調(diào)用通用函數(shù)實現(xiàn)各個模塊的功能。
　　本系統(tǒng)采用C語言進行開發(fā)，采用了模塊化的設(shè)計思想，每一個功能模塊與設(shè)備之間相對獨立。根據(jù)不同設(shè)備的需求，調(diào)用函數(shù)實現(xiàn)功能。如此能夠節(jié)省大量的資源和時間，大大簡化了系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，便于程序的調(diào)用，修