并聯主動控制式空氣彈簧隔振基礎技術研究.pdf

1、在精密測量與精密加工等領域，儀器、設備等自身微幅振動的問題已經擺在了人們的面前，成為技術進步的瓶頸。鑒于很多情況下，這種振動并非來源于設備自身，因而建立隔振平臺是一種有效的振動抑制手段。本文基于大型空氣彈簧隔振平臺，研制出一種新型的主動隔振系統，有力地彌補原有被動隔振系統的不足，進一步提高隔振平臺的性能。
　　本文對隔振平臺和空氣彈簧組成的六自由度振動系統的原理、性能及參數進行了分析。并且分析了被動隔振系統的不足之處，同時對被動隔

2、振系統固有頻率進行了理論計算。
　　針對被動隔振系統在低頻帶的不足，并且根據隔振系統的實際情況，應用經典的PID控制器設計了三自由度主動控制算法，并經過仿真分析，大幅度降低了隔振系統在低頻帶的振動傳遞率，提高了隔振平臺的姿態(tài)精度，顯著提高了隔振系統的性能。
　　針對隔振系統的特點，參考磁懸浮的原理，設計了適合主動隔振系統應用的電磁作動器，并設計了與之配套的功率放大電路，還對其他系統必需的硬件進行了選型。本文應用數字PID控制