Sol-Gel法制備ZnO多孔薄膜及其結構和光學性能研究.pdf

1、隨著科技的不斷發(fā)展，納米薄膜材料受到越來越多的關注。納米多孔薄膜具有力學、光學、電學、催化、敏感等方面的優(yōu)良特性，是一類具有廣闊應用前景的新材料。
　　 本文采用溶膠-凝膠法，以聚乙二醇( PEG2000)為模板劑，醋酸鋅為前驅體，無水乙醇為溶劑，二乙醇胺為絡合劑以及去離子水配制ZnO溶膠，結合浸漬-提拉法和一定的后處理工藝，在玻璃基片上生長了ZnO多孔薄膜。采用綜合熱分析儀對干凝膠升溫過程中發(fā)生的變化進行了分析，確定了薄膜的后

2、處理工藝。采用場發(fā)射掃描電子顯微鏡對薄膜的表面和斷面形貌進行觀測，采用紫外-可見分光光度計對薄膜的透射率進行測量，系統(tǒng)的研究了模板劑PEG2000的加入量、鍍膜層數(shù)以及后處理溫度對ZnO多孔薄膜形貌和透射率的影響。SEM檢測研究結果表明：PEG2000的加入量從Og到1.0g/50ml變化時，薄膜形成的孔的孔徑隨著PEG2000加入量的增加而增大，孔徑的大小在50～250nm之間變化，當PEG2000加入量為0.6g/50ml，其形成的

3、孔結構最好，薄膜沒有出現(xiàn)明顯開裂，孔的密度和大小都比較均一，孔呈圓形，孔徑在120nm左右；薄膜的厚度與鍍膜層數(shù)成正比關系，每次鍍膜的厚度約為50～60nm；隨著后處理溫度的升高薄膜逐漸出現(xiàn)了孔洞結構，薄膜的晶體結構也越好，500℃時薄膜中多孔結構逐漸趨向規(guī)則，薄膜的晶粒結構較好，尺寸約為10～20nm，得出500℃是對ZnO多孔薄膜進行后處理最合理的溫度。透射率的研究表明：PEG2000的加入量越多，薄膜的透射率越低；薄膜層數(shù)在1層到