微納特征結(jié)構(gòu)評(píng)價(jià)與表面表征方法研究.pdf

1、隨著超精密加工技術(shù)加工精度的不斷提高和微電子器件、MEMS制造尺寸的不斷減小，納米加工技術(shù)應(yīng)時(shí)而生。計(jì)量技術(shù)與工業(yè)生產(chǎn)技術(shù)從來(lái)都是互相促進(jìn)、相互提高的，納米計(jì)量技術(shù)也因此得到了飛速發(fā)展。
　　 針對(duì)超精密加工中對(duì)典型特征尺寸和微觀表面形貌的測(cè)量需求，本課題開(kāi)展了微納特征結(jié)構(gòu)評(píng)價(jià)與表面表征方法方面的研究，主要工作內(nèi)容如下：
　　 1.通過(guò)對(duì)國(guó)內(nèi)外典型特征尺寸和微觀表面形貌的測(cè)量技術(shù)和方法的充分調(diào)研，尋求各種方法之間的關(guān)系，

2、在實(shí)驗(yàn)中采用了原子力顯微術(shù)、相移掃描干涉技術(shù)和白光掃描干涉技術(shù)。
　　 2.研究分析了微納特征結(jié)構(gòu)的評(píng)價(jià)原理，主要對(duì)臺(tái)階、柵距和線寬等微納結(jié)構(gòu)的評(píng)價(jià)算法進(jìn)行了分析，并使用MATLAB編寫(xiě)了評(píng)價(jià)程序。應(yīng)用多種方法對(duì)臺(tái)階、柵格結(jié)構(gòu)進(jìn)行測(cè)量，利用MATLAB編寫(xiě)評(píng)價(jià)程序?qū)y(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行評(píng)價(jià)計(jì)算，驗(yàn)證了各個(gè)評(píng)價(jià)算法的可行性和可靠性；建立線寬結(jié)構(gòu)的評(píng)價(jià)模型和算法，對(duì)線寬結(jié)構(gòu)進(jìn)行多組仿真，驗(yàn)證所建線寬模型和評(píng)價(jià)算法的可行性。
　　 3