PDMS-SiO2雜化薄膜的制備與性能研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文以TEOS、PDMS、H2O、EtOH為主要原料,采用溶膠-凝膠法制備PDMS/SiO2有機(jī)-無機(jī)雜化物薄膜。確定了各項工藝方法和工藝參數(shù),最終制備出了平整、均勻,綜合性能優(yōu)異的透明硬質(zhì)雜化薄膜。
　　 溶膠配置工藝方法方面,探索出了各成分的添加方式和順序,以及后期應(yīng)用水浴加熱方法的必要性及使用方式。
　　 實驗最終確定了配置PDMS/SiO2溶膠的各成分的最佳比例為Vol:TEOS/PDMS/H2O/EtOH=1:

2、0.1～0.2:0.5:1,PH=3。自制了提拉和旋涂鍍膜裝置,實驗了兩種鍍膜方法的效果。
　　 PDMS與TEOS的體積比超過20％時,常規(guī)工藝方法難以制備性能良好的薄膜。對工藝進(jìn)行改進(jìn),溶膠制備過程中采用加入過量乙醇,后期采用水浴蒸發(fā)調(diào)節(jié)粘度的方法可以制備體積比達(dá)到300％的成膜性能良好的溶膠液。
　　 第一層薄膜的燒結(jié)溫度低于400℃時,第二層薄膜無法涂覆;第一層薄膜的燒結(jié)溫度高于400℃時,可以很好的在第一層薄膜

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