光刻膠剝離工藝IPA消減方法研究.pdf

1、隨著TFT-LCD(薄膜晶體管液晶顯示器)技術(shù)的逐漸成熟，LCD(液晶顯示器)的使用正變得越來(lái)越廣泛。然而，在LCD 廣闊需求帶來(lái)的大規(guī)模生產(chǎn)之外，我們也不得不考慮生產(chǎn)過(guò)程中的一些問(wèn)題。IPA(異丙醇)的使用超標(biāo)可能會(huì)造成嚴(yán)重的環(huán)境問(wèn)題。譬如，IPA是一種低沸點(diǎn)易揮發(fā)的易燃物質(zhì)，其閃點(diǎn)只有126.7℃，遇熱或火焰容易爆炸；IPA 有毒，其毒性介于甲醇和乙醇之間，吸入過(guò)量IPA 蒸氣可能危害人體健康；此外，IPA 蒸氣受陽(yáng)光照射還會(huì)形成臭

2、氧，其光化學(xué)煙霧會(huì)刺激人的眼睛和呼吸系統(tǒng)，危害人體健康及植物生長(zhǎng)。IPA是一種對(duì)環(huán)境、人體均有害的化學(xué)品，這就需要設(shè)法對(duì)IPA 用量進(jìn)行消減，以使IPA 排放量合乎規(guī)格。
　　 本文首先總體介紹了液晶顯示器的發(fā)展及制造流程，著重講述了陣列的制作過(guò)程與剝離工藝。為了獲得穩(wěn)定良好的剝離效果，目前行業(yè)內(nèi)主要使用溶劑系剝離液進(jìn)行剝離。由于溶劑系剝離液中一般含有Amine(銨)的成份，而Amine 水解生成的OH-(堿離子)會(huì)與Gate(

3、柵極)中的Al(金屬鋁)反應(yīng)，造成Al 腐蝕，影響產(chǎn)品質(zhì)量，因此一般剝離工藝在剝離單元之后通常都會(huì)使用IPA 進(jìn)行剝離液的置換，以去除剝離后玻璃基板表面殘存的有機(jī)成分，并防止基板上的剝離液在水洗槽水解后與Al反應(yīng)造成的Al 腐蝕。但是，這種剝離方法在產(chǎn)能提升時(shí)，其IPA 用量及排廢量會(huì)有較大提高。這會(huì)對(duì)廢水的處理能力造成重大壓力，影響環(huán)境及生產(chǎn)。
　　 本文從工藝及設(shè)備等角度先后提出了四個(gè)備選方案，通過(guò)對(duì)工藝及設(shè)備改造成本的綜合