透皮微針陣列的工藝研究.pdf

1、微機電系統(tǒng)(MEMS)能夠在傳統(tǒng)儀器不能達到的微小空間中進行精密操作，實現(xiàn)實時監(jiān)測，因而在生物醫(yī)學中有著廣泛的應用。本課題以用于藥物傳輸為目的的微針陣列為對象，研究了微針陣列的主要加工工藝——微針尖的加工工藝、微針孔的加工工藝及微針尖和微針孔的套刻工藝。其中微針尖的加工采用各向同性刻蝕技術，微針孔的加工采用各向異性深度刻蝕技術，文中對這兩種微加工技術做了詳細的理論闡述和實驗研究?！　”疚墓灿晌逭聝?nèi)容組成：　　第一章，綜述。本章主要從

2、MEMS及MEMS加工技術的發(fā)展、微針在生化醫(yī)療領域的研究進展和應用前景兩方面介紹介紹了課題的研究背景和研究意義，并提出了課題研究的內(nèi)容和目標。　　第二章，微針陣列的結構設計。通過對皮膚的結構特性和微針透皮給藥機理的闡述，參考國外文獻中對微針陣列的研究，作者設計了兩種不同結構的微針陣列，并從應用和微加工技術兩個方面考慮，設計了微針陣列的主要加工方案和工序，以及提出了在工藝實驗中需重點解決的問題?！　〉谌潞偷谒恼率顷P于微針陣列加工工

3、藝的研究，是研究內(nèi)容的主要部分。內(nèi)容主要研究了微針陣列加工的兩種關鍵技術——HF-HNO3腐蝕液刻蝕技術和電感耦合等離子體刻蝕技術，并基于這兩種工藝，研究微針的套刻工藝。研究以兼具有高刻蝕速率與高刻蝕表面質(zhì)量為工藝目標，從刻蝕機理出發(fā)，通過大量的工藝實驗總結出適合微針加工的工藝路線。這些基本工藝的研究，為硅基微器件的加工提供了選擇方案和實際經(jīng)驗曲線。　　第五章，總結與展望。本章對微針陣列的結構設計和對微針陣列加工工藝的研究取得的成果進