基于MEMS技術的微型電場傳感器設計及實驗研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、電場與人類的生產生活活動息息相關.為了測量各種電場參數,人們進行了深入的研究,發(fā)明了多種電場傳感器.但是用于靜電場測量的微型電場傳感器至今未見報道.該文提出了一種新穎的電場傳感器設計方案,其優(yōu)點是體積小、易批量加工,可以應用于空間、大氣、地面等多種環(huán)境下的靜電場或低頻電場的測量.該傳感器基于微機電系統(tǒng)(MEMS)技術和傳感技術,利用半導體加工工藝在硅基底上制蜍.作者通過運用電動力學的相關理論進行分析計算,并運用ANSYS6.0軟件進行計

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