壓電陶瓷管掃描器非線性校正.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、壓電陶瓷管掃描器的非線性特征是造成掃描探針顯微鏡掃描圖像畸變的主要原因,因此該課題開展壓電陶瓷管掃描器非線性校正的研究工作.該課題從現有實驗設備出發(fā),提出一種開環(huán)校正方案,即利用邁克爾遜干涉儀測定PZT的伸長量與控制電壓之間的相互關系,得到非線性曲線;根據非線性曲線確定擬合函數;通過擬合函數的反函數得到獲得線性位移的電壓控制數據;根據電壓控制數據設計掃描校正軟件,使XY掃描管工作在線性方式,據此有效消除由壓電陶瓷管的非線性而引起的掃描圖

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