納米三坐標測量機模擬探頭系統(tǒng)實驗研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、對微器件系統(tǒng)進行高精度測量的增長需求引起了微/納測量技術的快速發(fā)展。傳統(tǒng)的三坐標測量機(CMM)由于測量系統(tǒng)的局限性往往只能測量微米或者亞微米級別的器件。作為三坐標測量機最重要的部分，探頭的精度能否達到納米級別決定著整體三坐標測量機的精度級別。
　　本論文提出了一種適用于納米三坐標測量機的新型高精度接觸模擬式探頭。該探頭基于DVD激光讀取頭、Michelson干涉儀工作原理。探頭構成元件包括帶有紅寶石球頭的測桿、懸浮機構和內(nèi)部感測

2、傳感器。測桿固定在十字架中心位置，十字架通過四抓型簧片懸浮機構與探頭外殼連接。當測球接觸工件時，測桿偏離，簧片發(fā)生彈性變形，粘貼在十字架上的平面反射鏡的位置將產(chǎn)生位移變化。這些位移將被探頭內(nèi)部傳感器探測得到。
　　本論文針對納米三坐標測量機模擬式探頭的測量范圍、測長分辨力與重復性精度的要求，通過改進探頭內(nèi)部傳感器、設計高靈敏的懸浮機構與優(yōu)化數(shù)據(jù)處理方法等途徑來實現(xiàn)要求。建立了探頭性能測試實驗系統(tǒng)，測試探頭的性能。測試實驗結果表明本

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