微型法-珀腔陣列光譜探測器研究.pdf

1、光譜儀是應用光譜技術，對物質的化學組成及含量進行分析的重要儀器。隨著科學技術的發(fā)展，部分小型光譜儀器由于其體積小、價格便宜、使用方便等特點己被廣泛應用，但單芯片集成化微型光譜分析系統(tǒng)還處于研制階段。 本論文在國家自然科學基金資助下，通過對微型光譜儀國內外研究現(xiàn)狀的分析，提出采用全介質式微型法-珀腔陣列作為分光元件，用光電探測器陣列獲取光譜信號，從而實現(xiàn)分光元件和光電探測器一體化集成的新結構；并且對所設計的微型法-珀腔陣列光譜探測

2、器相關理論和關鍵技術進行了研究，初步完成了相關的工藝設計。其具體研究內容如下： 1．通過查閱大量國內外微型光譜分析儀器相關文獻，深入分析國內外微型光譜儀器的發(fā)展現(xiàn)狀，提出了單芯片集成化微型光譜探測器方案。 2．通過研究集成化微型法-珀腔陣列光譜探測器的相關基礎理論，建立了其理論模型，并且通過建立的理論模型模擬分析了法-珀腔的幾何尺寸、反射膜材料光學特性等參數(shù)與光譜分辨率、透射率等的關系。 3．根據(jù)微型法-珀腔陣列