靜電感應晶閘管的研制.pdf

1、靜電感應晶閘管SITH(static Induction Thyristor)是一種新型功率器件，與其它電力器件相比有一系列突出的優(yōu)點：首先是用柵極可強迫關斷，同時具有高耐壓、大電流、低壓降、低功耗、高速度、優(yōu)良的動態(tài)性能等。應用前景十分廣闊，因而受到人們的廣泛關注。本文結合蘭州市十五科技攻關項目--電力靜電感應器件的研制而展開。主要內容如下： 1.闡述了SITH的作用理論，介紹了SITH的結構、Ⅰ-Ⅴ特性、電流傳輸機制及勢壘的

2、形成。對于SITH的負阻轉折特性進行了研究，分析了導致負阻現(xiàn)象產生的主要物理效應。 2.分步刻槽法的應用，實現(xiàn)了隔斷槽、臺面槽與柵電極孔刻蝕，深度各不相同卻能同時刻蝕，且深槽刻蝕逐步加深，不必一次刻蝕到要求的深度，更有利于保護管芯表面和槽臺造型。通過實驗選擇腐蝕液的配比，并確定了最佳的刻蝕深度和工藝。 3.制定了SITH的工藝流程，數(shù)次的制管實驗結果，給出了正常特性所滿足的工藝條件。該結果距離理想的Ⅰ-Ⅴ特性僅需要微調。