雙重計算全息圖用于非球面絕對檢驗的研究.pdf

1、在干涉檢驗中，測試結果一般都包含測量的系統誤差，如果要進一步消除系統誤差對測量精度的影響，可采用絕對檢驗的方法。絕對檢驗采用多次測量并根據一定的數學模型，從參考光路、系統誤差等這些誤差中把被測表面相對于理想表面的偏差分離出來，有效的提高了面形測量精度。 文章首先概括介紹了非球面的基本特性和已有的非球面檢測方法后，分析了非球面絕對檢驗的必要性。通過對球面和非球面兩者基本特性比較后，在球面絕對檢驗方法的基礎上，拓展出非球面絕對檢驗方

2、法，并進行了詳細的討論。根據非球面絕對檢驗方法，對非球面絕對檢驗中最為關鍵的一個器件一雙重計算全息圖的編碼方法和條件進行了分析研究，對其自身的誤差以及測量調整過程中的引入誤差進行了總結。在雙重計算全息圖中，兩組全息圖圖形偏差造成的波面誤差與頻率是相關的，如確定其中一組全息圖誤差，推算出另一組計算全息圖的誤差，為了驗證這一觀點，采用了自行編碼設計的Twin-Fresnel zone mirrors(簡寫為Twin-FZM)進行了實驗驗證，