ILD型智能激光衍射光強測量儀.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、衍射是最常見的一種光學現象，由于近代激光和信息技術的出現與發(fā)展，使它在精密測量領域顯現出廣泛的應用前景。智能激光衍射光強測量儀就是這樣的一種精密測量儀器?；谠搩x器，論文從光學衍射理論出發(fā)，結合半導體技術、微機接口技術等，闡述了它的基本原理、結構組成及應用。 文章從衍射的角度探討了微距測量的相關問題。一束激光通過狹縫(細絲)產生衍射圖樣，線陣SSPA從圖樣中心橫向取樣，把光強信號轉換成電脈沖，再放大采樣保持，經ADC0804模/

2、數轉換后輸入計算機，運算出暗紋中心所在SSPA光敏元，這樣就得到計算縫寬(直徑)的重要參數－暗縫中心間距。和傳統的衍射過程相比，由于使用半導體傳感器和后期數據的計算機處理，最終的測量結果更精確、更科學、更快速。SSPA光敏元中心距僅有幾到幾十微米，以它為單位得到的暗紋中心距使測量結果更趨精確。 文章最后著重討論了測量誤差的產生、來源以及減少誤差的方法。 衍射法測微距融合了近代的激光、半導體、信息處理技術，成為一種新興的測

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