宏微結(jié)合回轉(zhuǎn)工作臺方案設計及微驅(qū)動電路研制.pdf

1、高精密定位技術是精密加工的關鍵技術之一?；剞D(zhuǎn)工作臺的定位精度越來越受到關注，宏微結(jié)合的驅(qū)動方式在在許多高精密定位系統(tǒng)中得到廣泛應用，微位移技術成為高精密定位系統(tǒng)中的關鍵技術。
　　通過對國內(nèi)外微位移技術應用現(xiàn)狀了解知道，電致伸縮器件帶來了納米級定位。在平動工作臺中它已經(jīng)得到了廣泛的應用。同樣的，本文設計了一套方案，利用了壓電陶瓷驅(qū)動器來提高回轉(zhuǎn)定位精度。同時設計了回轉(zhuǎn)工作臺的整體結(jié)構(gòu)方案，包括電機的選型和匹配計算，編碼器的選擇，伺

2、服系統(tǒng)的定位控制計算等。利用壓電陶瓷驅(qū)動器來提高定位精度，在回轉(zhuǎn)工作臺的定位精度上是一個大的提高，同時，它也給我們帶來了新的思考和新的方向。
　　微位移驅(qū)動機構(gòu)是電致伸縮器件傳遞位移的中間環(huán)節(jié)。設計合理的柔性鉸鏈是精度執(zhí)行的保證。在完成對柔性鉸鏈機械結(jié)構(gòu)的設計計算的同時，通過有限元分析對柔性鉸鏈進行了分析。同時還對壓電陶瓷進行了選型。
　　壓電陶瓷驅(qū)動電源是微進給裝置的關鍵部分，在權衡高精度和負載能力的情況下，設計并實現(xiàn)了壓