面向微型光譜儀的MOEMS光柵光調(diào)制器研究.pdf

1、MOEMS（Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems微光機電系統(tǒng)）技術是MEMS領域的一個重要研究方向?；贛OEMS技術的微型光譜儀已經(jīng)成為光譜分析儀器發(fā)展的一個重要方向。本論文面向微型光譜儀的需求，開展了MOEMS光柵光調(diào)制器關鍵技術研究，具有明確的應用背景和科學意義。
　　本論文在分析總結國內(nèi)外幾種典型MOEMS光調(diào)器的基礎上，提出了一種結構簡單、驅(qū)動電壓低、又具有哈達瑪變換功能的MOEMS

2、光柵光調(diào)制器，建立了相應的等效模型；研究了光柵光調(diào)制器的光、機、電特性；確定了器件結構參數(shù)，進行了器件仿真分析，完成了器件的工藝流程設計及加工流片；開發(fā)了基于FPGA的器件驅(qū)動控制系統(tǒng)，進行了原理器件的參數(shù)測試與功能實驗驗證。主要研究工作是：
　　①在對比分析國內(nèi)外MOEMS光調(diào)制器件工作特點的基礎上，針對微小型光譜儀的需求，提出了一種MOEMS光柵光調(diào)制器新結構；
　　②闡述了MOEMS光柵光調(diào)制器的工作原理，基于標量光學

3、理論進行了MOEMS光柵光調(diào)制器的光學特性理論分析，建立了器件的等效機電模型，研究了器件的靜態(tài)、動態(tài)機電特性；
　?、鄞_定了MOEMS光柵光調(diào)制器的結構參數(shù)，完成了基于曲折梁、分布式電極等結構設計；采用CoventorWare專業(yè)軟件對器件進行了有限元仿真；
　　④基于中電24所的加工工藝規(guī)范，開展了多晶硅結構工藝流程以及基于Al膜保護的犧牲層釋放工藝研究；確定了Al膜結構的光柵光調(diào)制器工藝流程并進行了加工流片；