激光多普勒微機電系統(tǒng)運動檢測電路與軟件設計.pdf

1、微機電系統(tǒng)是集微型機械、微傳感器、微執(zhí)行器、信號處理、智能控制于一體綜合型系統(tǒng)，在國防、通信、汽車、生命科學等領域中有著廣泛的運用。近年來，隨著微機電系統(tǒng)技術的迅速發(fā)展，對器件運動性能檢測的需求也日益迫切。 本文主要探討了基于激光差動多普勒原理的微機電系統(tǒng)的運動檢測技術，研究測量微型振子等微機電器件的瞬時速度、位移、加速度等運動參數(shù)的方法。論文在前期的探索上，對原測量系統(tǒng)的光路結(jié)構(gòu)、特別是信號處理模塊和硬件設計進行了改進和優(yōu)化。

2、 改進了原系統(tǒng)的光路結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)了符合測量要求的微小光斑，降低了光斑內(nèi)的速度梯度。采用了時頻分析的方法，優(yōu)化了軟件處理模塊，提高了系統(tǒng)的測量精度。設計了信號的采集處理電路，替代數(shù)據(jù)采集卡進行采集和處理，降低了系統(tǒng)的成本，并為將來系統(tǒng)的便攜化、高效測量研究進行了先期探索，提供一定的研究基礎。 在對諧振器進行運動檢測的基礎上，論文還對器件的振型進行了初步的分析，獲得諧振器的固有振型。 通過對一系列微機電系統(tǒng)諧振器樣品、