基于正弦相位調制的光柵干涉法測量振動物體面形的研究.pdf

1、正弦相位調制干涉測量法是對參考光束進行正弦相位調制，并對干涉信號進行分析，求出被測物體物理量的方法。該方法具有結構簡單、測量精度高、抗干擾能力強等優(yōu)點。在位移、振動、表面形貌、微角度測量等領域已成為一項重要的高精度測量技術。 在本論文中，首先介紹了光柵副中光的衍射及干涉現象和頻譜分析原理，并闡述了光柵調制測形原理。 其次，根據正弦相位調制光柵干涉法的原理對一個振動物體的二維表面形貌進行測量，選擇合適的光學元件后，經過光路

2、系統(tǒng)的搭建和調試，對帶有正弦振動的塑料板進行實驗測試，通過高速工業(yè)相機采集到一個正弦振動周期內不同時刻的干涉條紋。 最后，根據位相物體的光學顯示方法，用MATLAB軟件編寫程序，對在一個正弦振動周期內三個不同時刻的干涉條紋圖像進行處理分析和數值計算，分別是位移振動到正最大、位移振動到接近零和位移振動到負最大的三幅干涉圖，求出這三幅干涉圖的相位分布，進而結合相位分布與振動物體面形的關系，得出了振動物體在這三個位置的二維表面形貌分布