液晶顯示驅(qū)動器件良品率提升的研究.pdf

1、液晶顯示器件(LCD)在中國已有二十多年的發(fā)展,其圖像分辨率也大幅提高。為了使LCD工作,必須用到液晶驅(qū)動芯片(LCD驅(qū)動),它的模擬輸出直接驅(qū)動顯示面板,LCD驅(qū)動的品質(zhì)是決定LCD顯示效果的關(guān)鍵因素之一。LCD驅(qū)動采用CMOS高壓工藝將高壓器件和低壓器件制造在同一襯底上,以達(dá)到較高集成度。其電壓浮動從10V到100V,對制造工藝以及抗高壓能力有了更高的要求和依賴性,本文重點研究LCD驅(qū)動在制造領(lǐng)域中遇到的問題以及解決辦法。
　

2、　 本文將首先介紹針對制造過程中遇到造成良品率損失的問題,從統(tǒng)計學(xué)和器件物理的角度分析良品率損失的幾種方法,主要包括:分析生產(chǎn)線流程歷史數(shù)據(jù)是否有異常直接找到失效原因;分析良品率和機(jī)臺設(shè)備相關(guān)性,尋找是否存在有問題的設(shè)備;分析良品率與電學(xué)特性的相關(guān)性,從器件物理角度,分析失效機(jī)理;運用電學(xué)失效分析和物理失效分析的方法,借助高精密度光學(xué)儀器查找失效的準(zhǔn)確位置和層次。
　　 通過運用上述分析方法,本論文研究并解決了造成LCD驅(qū)動良

3、品率損失的三個問題:一、由于LCD驅(qū)動高壓器件應(yīng)用,需要采用部分金屬硅化物工藝用于靜電保護(hù)器件。金屬硅化物區(qū)域上的氧化膜成膜的不均一性和刻蝕速率的不同導(dǎo)致高壓區(qū)域未用氧化膜覆蓋的隔離用的場氧偏薄,引起漏電失效。對此,本論文研究了用增加刻蝕前氧化膜膜厚的方法,改善了場氧偏薄引起漏電現(xiàn)象的發(fā)生。二、由于LCD驅(qū)動需要多層金屬布線,由于去邊造成的周邊金屬層間氧化物膜厚較薄的現(xiàn)象突出,導(dǎo)致周邊多處出現(xiàn)外觀異常,本論文采用了層間氧化物膜厚周邊不去