用溶膠-凝膠法制備Al原子摻雜的ZnO納米薄膜.pdf

1、本文利用溶膠-凝膠方法在玻璃基片上制備了AZO薄膜，研究了制備過程中工藝條件對薄膜晶體結構、電學和光學性能的影響，并對AZO薄膜的導電機制和發(fā)光機理進行了探討。 用X射線衍射儀(XRD)對樣品的結構進行了表征。結果表明：所有樣品的衍射譜都具有六角纖鋅礦結構，沒有Al和Al2O3的相存在，表明Al原子對Zn原子的有效替位，且(002)面具有明顯的c軸擇優(yōu)生長的趨勢。預處理溫度對ZnO薄膜的c軸擇優(yōu)取向影響很大，本實驗得到最佳預處理

2、溫度為400℃。此外還分析了摻雜濃度、退火溫度對薄膜c軸取向的影響。 用四探針測試儀、紫外-可見分光分度計、熒光分光分度計對薄膜的光電特性進行了測試，得到以下結論： (1)在熱分解溫度400℃、退火溫度550℃，摻雜濃度1％和鍍膜層數(shù)12層的條件下，AZO薄膜的電阻率最低為5.2×10-3 Ω·cm。 (2)可見光范圍內，AZO薄膜的透過率較高，一般在85％左右。摻雜濃度、預處理溫度和退火溫度對薄膜的透過率影響不