鐵電材料直流功放式測試硬件與軟件研究.pdf

1、鐵電材料具有一系列重要的特性，例如鐵電性、壓電性、熱釋電效應、電光效應、聲光效應、光折變效應和其他非線性光學效應等，在微電子和光電子等技術領域顯示出十分重要的現(xiàn)實應用和潛在應用的前景。 近年來，隨著鐵電材料制備工藝，特別是鐵電薄膜的制備工藝和技術的不斷成熟、完善和發(fā)展，鐵電材料及其器件的應用領域不斷地擴大，國內外越來越多的研究者對鐵電材料及其器件感興趣，他們不但研究現(xiàn)有鐵電材料的性能及其改良途徑而且不斷地探索、發(fā)掘新的鐵電材料。

2、因此，研究者們對鐵電材料及器件的有關參數(shù)進行快速、自動和精確地測量提出了更高的要求。為此目的，需要研究鐵電材料參數(shù)計算機測試系統(tǒng)。 該測試系統(tǒng)可以對鐵電陶瓷材料、鐵電薄膜材料進行I－V特性和電滯回線的測量，并將所得到的測試結果（包括圖形和數(shù)據）從數(shù)字示波器傳輸至計算機進行處理（包括保存、調用和修改數(shù)據等）。與傳統(tǒng)示波器顯示、測量鐵電材料參數(shù)特性相比，該系統(tǒng)可以將I－V曲線、電滯回線和數(shù)據進行保存、調用和修改，這樣可以更加方便地對

3、不同的鐵電材料進行比較研究，具有很強的實用性。 本論文主要對該鐵電材料參數(shù)計算機測試系統(tǒng)測試模塊中的直流功率驅動部分和I－V特性測試軟件進行了深入研究。 由于測量鐵電陶瓷的I－V特性必須在鐵電陶瓷的兩電極上施以高電壓，同時因為鐵電陶瓷的極化轉向時間比鐵電薄膜慢得多，若用較高頻率的信號去測，那么在快速變化的電場作用下，極化有可能不能跟蹤電場，為兼顧鐵電薄膜的測量，需要研制一直流功率放大器，其頻率范圍應滿足0.01Hz～10