壓阻式壓力傳感器溫度補償的研究與實現.pdf

1、壓阻式壓力傳感器是利用半導體材料硅的壓阻效應制成的傳感器，具有靈敏度高，動態(tài)響應快，測量精度高，穩(wěn)定性好，工作溫度范圍寬，易于小型與微型化，便于批量生產與使用方便等特點。因此，它是一種發(fā)展迅速，應用廣泛的新型傳感器。壓阻式壓力傳感器的一個主要問題是溫度補償問題，由于溫度會對傳感器的靈敏度及測量精度產生很大的影響，在相當程度上限制了壓阻式壓力傳感器的使用，對傳感器進行溫度補償顯的尤為重要。 介紹了國內外研究現狀，分析了多種補償方法

2、，指出其利弊，總結補償思想，同時介紹了現代信號調理技術的發(fā)展。應用信號調理芯片是現代常用的一種補償方法。本論文應用智能化的模擬—數字混合信號調理技術，采用MAX1457，開發(fā)出了一整套溫度補償系統，經調理后的傳感器綜合誤差不超過0.1﹪。MAX1457是一種專用傳感器信號調理芯片。此芯片集成化程度較高，可以補償硅壓阻式壓力傳感器的溫度誤差和非線性誤差。論文首先介紹了MAX1457芯片的結構、及相關數學公式推倒，分析了芯片的設計思路，在結