基于溶膠凝膠法的PLZT光波導薄膜的制備研究.pdf

1、基于PLZT的波導電光器件具有驅動電壓小、功耗低、偏振不敏感等優(yōu)點，成為集成光學領域的研究熱點。作為PLZT波導電光器件的核心，PLZT光波導薄膜的質量將直接影響其器件的性能。具有較低傳輸損耗的PLZT光波導薄膜的制備具有重要意義。本文采用溶膠-凝膠(Sol-Gel)法，針對PLZT光波導薄膜的制備工藝進行了研究。
　　首先，基于當前普遍采用的金屬醇鹽法，對PLZT光波導薄膜的制備工藝進行了研究。針對前驅體種類、環(huán)境濕度、熱處理工

2、藝等因素的確定進行了詳細的討論，采用優(yōu)化的工藝條件獲得了表面均勻平整、致密性較高的雙組分PLZT光波導薄膜。由此制作了PLZT脊形光波導，并實現(xiàn)了波導通光。
　　其次，為了進一步降低成本，我們采用無機鹽取代金屬醇鹽作為溶膠的主要原料，對PLZT光波導薄膜的制備工藝進行了研究。針對溶膠體系、環(huán)境濕度、熱處理工藝等條件進行了優(yōu)化。采用優(yōu)化的工藝條件獲得了厚度4.6μm左右的雙組分PLZT光波導薄膜，表面均勻平整，致密性較好，從而為PL