波長移相干涉測量技術研究.pdf

1、移相干涉技術中以推動壓電陶瓷堆移相為代表的硬件移相技術應用最為廣泛，但是對大口徑光學系統(tǒng)進行測量時，利用壓電陶瓷堆推動移相比較困難，并且非直線運動會引入較大測量誤差。而波長移相技術通過改變激光的輸出波長來實現干涉信號的移相，有效地彌補了這一缺點，對于大尺寸的干涉系統(tǒng)測量是非常具有實際意義的。 本文介紹了移相干涉技術的原理以及常見的移相方法，闡述了可調諧激光器的波長調諧機理，分析了利用波長調諧進行移相干涉測量的基本原理，并對其發(fā)展

2、和應用狀況進行了概述。根據波長移相的原理，仿真了波長移相的三步法、四步法、四步平均法以及重疊四步平均法，并在不同干涉腔長、波長漂移誤差情況下進行了一系列的計算，其中涉及模擬干涉圖、移相干涉、波面解包等一系列重要的原理和過程。仿真結果表明，實驗所用VORTEX激光器在2％誤差范圍內滿足λ/100測試精度要求。最后，設計了具體的實驗，搭建了實現波長移相干涉的實驗系統(tǒng)，進行了干涉圖采集，對VORTEX激光器實施標定測試，并按照重疊四步平均移相