磁控濺射法生長ito薄膜及其在hit太陽電池中的應用

1、中圖分類號：學校代碼：10055UDC：密級：公開碩士學位論文磁控濺射法生長ITO薄膜及其在HIT太陽電池中的應用StudyofpropertiesofITOthinfilmspreparedbyDCmagronsputteringapplicationonHITsolarcells論文作者胡楠指導教師張德賢教授申請學位工學碩士培養(yǎng)單位電子信息與光學工程學院學科專業(yè)物理電子研究方向薄膜材料與器件答辯委員會主席李志青評閱人張建軍蔡宏琨南開

2、大學研究生院二○一五年五月萬方數(shù)據(jù)南開大學學位論文原創(chuàng)性聲明南開大學學位論文原創(chuàng)性聲明本人鄭重聲明：所呈交的學位論文，是本人在導師指導下進行研究工作所取得的研究成果。除文中已經(jīng)注明引用的內(nèi)容外，本學位論文的研究成果不包含任何他人創(chuàng)作的、已公開發(fā)表或者沒有公開發(fā)表的作品的內(nèi)容。對本論文所涉及的研究工作做出貢獻的其他個人和集體，均已在文中以明確方式標明。本學位論文原創(chuàng)性聲明的法律責任由本人承擔。學位論文作者簽名：胡楠2015年5月27日非公

3、開學位論文標注說明(本頁表中填寫內(nèi)容須打印)根據(jù)南開大學有關(guān)規(guī)定，非公開學位論文須經(jīng)指導教師同意、作者本人申請和相關(guān)部門批準方能標注。未經(jīng)批準的均為公開學位論文，公開學位論文本說明為空白。論文題目申請密級□限制(≤2年)□秘密(≤10年)□機密(≤20年)保密期限20年月日至20年月日審批表編號批準日期20年月日南開大學學位評定委員會辦公室蓋章(有效)注：限制★2年(可少于2年)秘密★10年(可少于10年)機密★20年(可少于20年)萬