廢氣處理技術方案

1、廢氣處理方案太陽能電池線的生產(chǎn)過程中涉及制絨、擴散、鍍膜、印刷等工藝，在生產(chǎn)過程中會使用大量的化學試劑，如鹽酸、氫氟酸、硝酸、硫酸、氫氧化鉀（或氫氧化鈉）、硅烷、氨氣、醇類等，這些化學試劑在使用過程中會釋放出大量的有害廢氣，所排放的廢氣主要為氯化氫、氟化氫、氯氣、氮氧化物、氨氣、硅烷、醇類廢氣等，這些廢氣需要被有效的處理，完全達到國家和地方的排放標準后才能排入大氣中。（一）廢氣分析1、制絨工藝廢氣分析在制絨工藝過程中，廢氣源主要為制絨及

2、清洗設備，廢氣種類因工藝不同而有區(qū)別，主要廢氣為氮氧化物、氟化氫氣體（多晶工藝）；堿蒸汽及醇類（單晶）。2、擴散工藝廢氣分析擴散工藝涉及廢氣排放的設備主要是：擴散爐、石英管清洗機、石墨舟清洗機等。擴散爐排出的廢氣是酸性廢氣及熱廢氣，本項目酸性廢氣主要為含氯廢氣，如氯氣等。石英管清洗機、石墨舟清洗機產(chǎn)生的廢氣主要為含氟化氫及氯化氫成分的酸性氣體。3、鍍膜工藝廢氣分析鍍膜工藝涉及的主要設備為去磷硅玻璃清洗機及PECVD等。去磷硅玻璃清洗機產(chǎn)

3、生的廢氣主要成分為氟化氫及氯化氫等；PECVD尾氣主要包含硅烷、氨氣等。4、印刷工藝廢氣分析印刷工藝涉及的主要設備為印刷機和燒結(jié)爐，產(chǎn)生的廢氣主要是一些以脂類和醇類廢氣為主的有機廢氣。（二）廢氣抽風量設計及設備選擇采用特殊PP海膽型保爾環(huán)以增大氣液接觸面積。為了使中和液處于一個最佳的吸收濃度并減少人力操作，本系統(tǒng)采用自動加藥系統(tǒng)對洗滌塔進行氫氧化鈉補充，每套系統(tǒng)包括1個自動加藥箱，每個自動加藥箱包括1個PH計，1個計量泵，PH計根據(jù)凈化

4、塔箱體內(nèi)吸收液的PH值來控制計量泵的開關，從而實現(xiàn)自動加藥。經(jīng)廢氣洗滌塔凈化后的廢氣通過排放煙囪達標排放，排放標準為GB162971996《大氣污染物綜合排放標準》二級標準。廢氣洗滌塔處理廢氣的主要化學反應為：ＮaOHHF→ＮaFH2OＮaOHHCL→ＮaCLH2OCl2H2O→HClOHCl2HClO→2HClO22、有機廢氣凈化系統(tǒng)本項目有機廢氣以含脂類、醇類等揮發(fā)物為主，這些有機物微溶于水，不能用常規(guī)的洗滌法處理。根據(jù)這些特點，本

5、項目有機廢氣采用我公司研制生產(chǎn)的活性炭纖維有機廢氣凈化器進行吸附凈化。根據(jù)貴公司提供的工藝設備廢氣排放量并結(jié)合我公司多年的實際經(jīng)驗，本項目選擇一套SYWFL4NO.8型2組合式活性炭纖維有機廢氣凈化器，該組合式設備處理能力為32000m3h。本設備主要有凈化器、離心風機及排風煙囪組成。凈化器中吸附裝置的主要成分是活性炭纖維?；钚蕴坷w維是超越活性炭（GAC）的高效吸附材料，它具有高度發(fā)達的微孔結(jié)構(gòu)，吸、脫附速度快，凈化效果好，在簡單條件下