基于MEMS的汽車發(fā)動(dòng)機(jī)用機(jī)油壓力傳感器研究.pdf

1、傳感器是先進(jìn)制造技術(shù)領(lǐng)域的基礎(chǔ)元器件之一。MEMS(MicroElectro-mechanical System)傳感器具有小尺寸，低成本、高可靠的特點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于汽車電子領(lǐng)域，包括發(fā)動(dòng)機(jī)控制系統(tǒng)、空氣懸掛系統(tǒng)、車體平衡系統(tǒng)、剎車控制系統(tǒng)、汽車空調(diào)等，目前每臺(tái)中高檔車中平均應(yīng)用了25～40只MEMS傳感器。
　　 隨著我國(guó)商用車發(fā)動(dòng)機(jī)歐三排放標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)施，發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)油壓力傳感器的需求量越來(lái)越大，但由于其技術(shù)難度大、投資大、市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)

2、激烈和風(fēng)險(xiǎn)較大等各種因素，目前主要依賴進(jìn)口，國(guó)內(nèi)很少有機(jī)構(gòu)涉足此領(lǐng)域。
　　 本文通過(guò)理論計(jì)算、仿真分析以及實(shí)驗(yàn)等方法，深入研究的基于MEMS的汽車發(fā)動(dòng)機(jī)用機(jī)油壓力傳感器的設(shè)計(jì)、封裝、制造及批量標(biāo)定。本文所做的工作主要有以下幾個(gè)方面：
　　 1、研究了MEMS壓阻式壓力傳感器芯片的基本原理和溫漂特性。MEMS壓力傳感器芯片表面不能接觸腐蝕性物質(zhì)，表面污染特別是金屬離子往往會(huì)帶來(lái)致命的失效，研究介質(zhì)隔離的膜片式封裝結(jié)構(gòu)，使

3、之滿足汽車發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)油壓力測(cè)量的需求。
　　 2、研究MEMS機(jī)油壓力傳感器的制造工藝流程，并給出論文所制備的傳感器的關(guān)鍵參數(shù)和輸出特性。
　　 3、汽車應(yīng)用環(huán)境的嚴(yán)酷性決定了機(jī)油壓力傳感器封裝結(jié)構(gòu)中的各個(gè)界面必須耐振動(dòng)和沖擊。測(cè)試評(píng)估MEMS機(jī)油壓力傳感器封裝結(jié)構(gòu)，包括貼片膠剪切強(qiáng)度測(cè)試、綁定金絲強(qiáng)度測(cè)試以及封裝氣密性測(cè)試。
　　 4、研究MEMS機(jī)油壓力傳感器制造過(guò)程中的關(guān)鍵工藝，包括碰焊、充灌硅油以及信號(hào)調(diào)理