高精度微小角位移激光測(cè)試.pdf

1、角度測(cè)量無論是在實(shí)際生活中還是在機(jī)械制造業(yè)及測(cè)試領(lǐng)域都占據(jù)著非常重要的作用，并且測(cè)量過程也不像以往所采取的機(jī)械式的測(cè)量方法，取而代之的是測(cè)量過程的數(shù)字化以及自動(dòng)化。光學(xué)測(cè)角法由于具有測(cè)量準(zhǔn)確度高和非接觸測(cè)量的特點(diǎn),在眾多測(cè)量方法中應(yīng)用最為廣。本文為了測(cè)量炮膛沿著豎直方向上升時(shí)，在水平方向上發(fā)生的微角位移，設(shè)計(jì)了一種激光振鏡、PSD微角位移測(cè)試系統(tǒng)。
　　本文通過分析激光的特性了解激光作為光學(xué)測(cè)角法的光源的優(yōu)點(diǎn)，并介紹了三種光學(xué)測(cè)量

2、方法，光學(xué)自準(zhǔn)直法、光學(xué)三角法以及激光干涉法；介紹了兩種位置探測(cè)器，即PSD位置探測(cè)器以及四象限位置探測(cè)器，對(duì)它們的結(jié)構(gòu)和工作原理進(jìn)行了理論分析，給出了一維PSD常規(guī)信號(hào)處理電路，在此基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)出了一維PSD對(duì)中指示信號(hào)處理電路，并探討了影響PSD位置探測(cè)器測(cè)量精度的因素；振鏡作為該測(cè)試系統(tǒng)的核心部件，著重分析了它的結(jié)構(gòu)。設(shè)計(jì)了激光振鏡、一維PSD微角位移測(cè)試系統(tǒng)，分析了系統(tǒng)構(gòu)成；最后在該系統(tǒng)基礎(chǔ)上提出了兩種測(cè)量炮膛沿著豎直方向上升時(shí)，